化学机械抛光液(6)

化学机械抛光液是一种高效、精确的抛光化学材料，备受多个领域青睐，如今，随着社会的发展和技术的创新，它的性能也随之不断的完善。下面分享一些关于化学机械抛光液的科普知识。

制备方法

(1)中间预混物1:经供料系统向成品混合罐中加入二氧化硅研磨颗粒和纯水，并开启至搅拌混合均匀，经颗粒总数检测(LPC)、pH值和固含量检测合格后待用。

(2)中间预混物2:向混合搅拌罐1中加入甘油并加入水，搅拌至混合均匀，经浓度、颗粒总数检测和痕量金属离子含量检测合格后待用。

(3)中间预混3：向混合搅拌罐2中加入纯水，在转速为120r/min水的搅拌速度下，加入苯并三氮唑(BTA)至完全溶解，然后再依次加入表面活性剂聚丙烯酸，络合剂2-膦酸丁烷基-1,2,4-三羧酸、百杀得溶液 和硝酸溶液，搅拌至混合均匀，记录 pH 值，经浓度、颗粒总数检测和痕 量金属离子含量检测合格后待用。

(4)中间预混物4:硝酸溶液待用。

(5)在搅拌的情况下，由混合搅拌罐1泵取甘油溶液(中间预混物2)至成品混合罐中，由混合搅拌罐2中泵取中间预混物3至成品混合罐 中，上述成分经搅拌3h后测量pH 值，并由硝酸溶液调节至pH 值稳定于 3.0±0.1。

(6)停止搅拌，分别从成品混合罐的上、中、下3个取样点取样，测 量pH值，确保体系混合均匀。

(7)上述化学机械抛光液成品经各组分浓度、pH 值、颗粒总数检测 和痕量金属离子含量检测合格后，于洁净环境下包装出料。

原料配伍 本品各组分质量份配比范围为：研磨颗粒1470～1610、 流体力学控制剂210～420、表面活性剂8.3～8.5、络合剂2.1～25.2、杀  菌剂0.83～0.85、pH 调节剂0.456～4、缓蚀剂0.3～8.4。

研磨颗粒在化学机械抛光过程中主要起机械研磨作用，一般为较高浓 度的水溶液，可以通过去离子水稀释其浓度来保持研磨颗粒胶体溶液的稳 定性。

流体力学控制剂是用于在化学机械抛光过程中控制抛光液流体力学状 态，通常为水溶液。表面活性剂是用于化学机械抛光过程中增加抛光液的 清洁效果，一般为高分子化合物溶液。络合剂是用于络合研磨下来的金属 离子，一般为高分子化合物溶液。缓蚀剂是用于防止过度的电化学腐蚀， 如苯并三氮唑(BTA)   的水溶液。

pH 调节剂是用于调节化学机械抛光液的pH 值至最适宜范围，通常 是酸或碱的水溶液。杀菌剂是用于防止化学机械抛光液中生成细菌从而影 响其质量和性能，一般是高分子化合物溶液。

产品应用 
本品主要用作化学机械抛光液。

产品特性 
采用平行化工艺流程替代原顺序型工艺流程，大大缩短工 艺流程时间，提高生产效率和产能，降低生产成本，提高产品竞争力。

针对分组后制备的各中间预混物增加质量控制点，如pH 值、浓度、 LPC和ICP 等。所有中间预混物经检测合格后方可用于最终化学机械抛  光液成品的混合，极大地增加了工艺流程质量控制点和提高了质量控制水 平，产品质量保障得到极大提升，降低生产质量事故风险。

本文转载自《抛光剂——配方与生产》编著    李东光

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