化学机械抛光液（11）

本品化学机械抛光液（11），拥有良好的抛光效果，为电镀行业提供了优质的工艺，被广泛应用于铝、铜、钽、氮化钽、钛、氮化钛、银或金等金属的抛光，下面我们不妨来看看本品化学机械抛光液（11）是怎么配制而成的呢？

制备方法

将各组分溶于水混合均匀即可

原料配伍

本品各组分质量份配比范围为：研磨颗粒1~10，金属腐蚀抑制剂0.01~10、成膜剂0~0.2、氧化剂0~10，络合剂0.01~10，pH值调节剂0.5～10，丙三醇5～10、表面活性剂0.001~10、水加至100。

所述研磨颗粒可为现有技术中任何研磨颗粒，优选二氧化硅、氧化铝，二氧化铈。二氧化钛和/或高分子聚合物研磨颗粒。

所述金属腐蚀抑制剂优选无机酸盐，该无机酸盐可为氧化性和/或非氧化性的无机酸盐，该无机酸盐优选钼酸盐、铬酸盐、高锰酸盐、硅酸盐、钨酸盐和/或杂多酸盐，更优选钼酸盐，所述的钼酸盐优选钼酸铵。

所述的金属腐蚀抑制剂都可以在金属表面形成一层保护膜。

所述成膜剂为苯并三唑、吡唑和/或咪唑，优选苯并三唑。

所述氧化剂优选过氧化氢、硝酸铁、有机过氧化物和/或无机过氧化物。

所述络合剂较佳地为含羟基、羧基、硫酸基、磺酸基、磷酸基、羟胺基、铵盐和/或氨基的化合物，更佳地为琥珀酸、草酸、柠檬酸、环己二胺四乙酸、二乙三胺五乙酸、乙二胺四乙酸和/或丹宁酸。

所述pH调节剂优选氢氧化钾、氨水、硫酸或硝酸。

所述表面活性剂优选阳离子、阴离子、非离子表面活性剂和/或高分子表面活性剂，更优选脂肪醇聚氧乙烯醚、聚乙烯醇、聚氧乙烯烷基胺和/或烷基醇酰胺。

产品应用

本品可广泛应用于铝、铜、钽、氮化钽、钛、氮化钛、银或金等金属的抛光。

产品特性

本品的化学机械抛光液可以抑制金属的点蚀和腐蚀，降低金属去除速率，改善金属表面质量。

本文转载自《抛光剂——配方与生产》编著    李东光

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