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化学机械抛光液（43）

2024-08-08 09:25:52 作者：李东光浏览：次

在本品化学机械抛光液（43），中加入了聚环氧琥珀酸(PESA)和 / 或聚环氧琥珀酸盐，有利于提高抛光液产品在多方面的表现性能。下面专家来科普，本品化学机械抛光液（40）配方知识点。

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制备方法

将各组分在去离子水中混合均匀，用氢氧化钾或稀硝酸调到所需的pH值，即可制得化学机械抛光液。

原料配伍

本品各组分质量份配比范围为：研磨剂0.2～5、氧化剂 0.1~5、稳定剂0～0.18、聚环氧琥珀酸(PESA) 和/或聚环氧琥珀酸的盐0.05～0.5、去离子水加至100。

研磨剂为硅溶胶、气相二氧化硅、氧化铝、氧化铈中的一种或多种。氧化剂为硝酸铁、过氧化物和/或硝酸铁和过氧化物的组合物。过氧化物为双氧水或单过硫酸氢钾复合物。聚环氧琥珀酸(PESA) 和/或聚环氧琥珀酸盐的分子量为400～1500。抛光液的pH 值为1.5～5。

产品应用

本品主要
用作化学机械抛光液。

产品特性
在化学机械抛光液中加入了聚环氧琥珀酸(PESA)和 / 或聚环氧琥珀酸盐，提升了抛光液产品在多方面的表现性能。

本文转载自《抛光剂——配方与生产》编著李东光

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