化学机械抛光液（48）

本品化学机械抛光液（48）中的研磨颗粒的粒径在温度高达 40℃的时候，依然能保持稳定，同时具有较长的寿命，利于存储。下面专家来科普本品化学机械抛光液（48）的专业配方知识。

制备方法

将各组分简单混合均匀，采用氢氧化钾、氨水和硝酸调节至合适的 pH值氧化剂 双氧水水，即可制得抛光液。

原料配伍

本品各组分质量份配比范围为:研磨颗粒0.1~30、聚合物 0.0001~1、稳定剂 0.001~3、水加至 100。

所述研磨颗粒为本领域常规使用的各种研磨颗粒，优选为表面带负电荷的研磨颗粒。表面带负电荷的研磨颗粒为二氧化硅，表面包裹二氧化硅的研磨颗粉。和带负电的高分子研磨颗粒。所述的研磨颗粒的粒径较佳为20~150nm,更佳为 30~120nm。

聚合物为纤维素类聚合物，优选为甲基纤维素、乙基纤维素、羟甲基纤维素、羟乙基纤维素、甲基羟乙基纤维素、乙基羟乙基纤维素、羟丙某纤维素、羧甲基纤维素。所述的纤维素的分子量较佳为10000~2000000.更佳为 50000~500000。

稳定剂为乙烯基吡咯烷酮类聚合物。乙烯基吡咯烷酮类聚合物为聚乙烯吡咯烷酮和/或乙烯基吡咯烷酮与醋酸乙烯酯的共聚物。所述的聚乙烯吡咯烷酮或乙烯基吡咯烷酮与醋酸乙烯酯的共聚物的分子量较佳为 800~100000，更佳为1000~50000。

化学机械抛光液还可含有本领域常用的其他添加剂，如氧化剂、成膜剂、络合剂等以达到抛光目的。化学机械抛光液的pH值较佳的为 2~7。

产品应用

本品主要用作化学机械抛光液。

产品特性

本品的抛光液中，研磨颗粒的粒径在 40℃时也能保持稳定。本品的化学机械抛光液具有较高的稳定性、较长的存储时间和使用寿命。

本文转载自《抛光剂——配方与生产》编著    李东光

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