化学机械抛光液(49)

本品的化学机械抛光液(49)，不仅可以有效的降低缺陷率，还可以显著提高金属表面平坦化水平，且降低金属的抛光速率,下面专家来科普，化学机械抛光液(49)的专业配方知识。

制备方法

将各组分混合均匀，用KOH或HNO₃调节到所需要的pH值，即得抛光液。

原料配伍

本品各组分质量份配比范围为：研磨颗粒0.1～20、络合剂0.01～10、腐蚀抑制剂0.0001～5、水加至100。

所述的研磨颗粒为二氧化硅、三氧化二铝、掺杂铝的二氧化硅、覆盖铝的二氧化硅、二氧化铈、二氧化钛和高分子研磨颗粒中的一种或多种。所述的研磨颗粒的粒径为20～150nm。

所述络合剂为有机酸及其盐、有机膦酸及其盐。

其中，所述的有机酸为醋酸、草酸、柠檬酸、酒石酸、丙二酸、丁二酸、马来酸、苹果酸、乳酸、丹宁酸、没食子酸和磺基水杨酸、乙二胺四乙酸、环己烷四乙酸、乙二胺二琥珀酸、二亚乙基三胺五乙酸和三亚乙基四胺六乙酸中的一种或多种；所述的有机膦酸为2-膦酸丁烷基-1,2,4-三羧酸、氨基三亚甲基膦酸、羟基亚乙基二膦酸、乙二胺四亚甲基膦酸、二亚乙基三胺五亚甲基膦酸、多元醇膦酸酯、2-羟基膦酸基乙酸和多氨基多醚基亚甲基膦酸中的一种或多种。所述的盐为铵盐、钾盐和钠盐等。

该腐蚀抑制剂是一种具有星形结构的聚合物表面活性剂。

所述的化学机械抛光液，其特征在于：所述的颜料亲和基团为羟基、氨基和羧基中的一种或多种。

形成所述的含颜料亲和基团的星形聚合物的聚合单体包括下列中的一

种或多种：丙烯酸类单体、丙烯酸酯类单体、丙烯酰胺类单体和环氧乙烷。

所述的丙烯酸类单体为丙烯酸和/或甲基丙烯酸；所述的丙烯酸酯类单体为丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙

酯和甲基丙烯酸羟乙酯中的一种或多种；所述的丙烯酰胺类单体为丙烯酰

胺和/或甲基丙烯酰胺。

形成所述的含颜料亲和基团的星形聚合物的单体还包括其他乙烯基类单体。

所述的其他乙烯基类单体为乙烯、丙烯、苯乙烯或对甲基苯乙烯。

所述的含颜料亲和基团的星形聚合物为聚丙烯酸星形均聚物，苯乙烯与丙烯酸羟乙酯的二元星形共聚物，对甲基苯乙烯与环氧乙烷的二元星形共聚物，苯乙烯与环氧乙烷的二元星形共聚物，甲基丙烯酸甲酯与环氧乙烷的二元星形共聚物，丙烯酸甲酯与丙烯酸羟乙酯的二元星形共聚物，丙烯酸与丙烯酸羟乙酯的二元星形共聚物，以及丙烯酸、丙烯酸丁酯和丙烯酰胺的三元星形共聚物中的一种或多种。

所述的含颜料亲和基团的星形聚合物的数均分子量为800～50000。

本品的化学机械抛光液还可以包含氧化剂。该氧化剂可为现有技术中的任何氧化剂，较佳的为过氧化氢、硝酸铁、有机过氧化物和/或无机过氧化物。

本品的化学机械抛光液还可以包括表面活性剂、黏度调节剂、pH调节剂等。

产品应用

本品主要应用于抛光金属，所述的金属为铝、铜、钽、氮化钽、钛、氮化钛、银或金，优选抛光铝。

产品特性

本品的化学机械抛光液可以明显降低缺陷率，提高金属表面平坦化水平，显著地降低金属的抛光速率。

本文转载自《抛光剂——配方与生产》编著    李东光

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