本品用于钨化学机械抛光的抛光液利用硝酸铁作为氧化剂的基础，用硅灌胶作为研磨剂，加入硝酸钾，不仅可以降低了产品的缺陷，还能提高生产的合格率。下面专家来科普本品用于钨化学机械抛光的抛光液利用的专业配方知识。
制备方法 将各组分在去离子水中混合均匀，即可制得化学机械抛光液。
原料配伍 本品各组分质量份配比范围为，研磨剂0.2~10，硝酸铁 0. 1~2、稳定剂0.025~0.5、硝酸钾0.2~3，去离子水加重100。
研磨剂是气相二氧化硅和硅溶胶中的一种成多种。稳定剂是可以和三价铁离子形成配位络合物的有机羧酸和/或有机膦酸。如丙二酸和/或2-磷酸丁烷基-1，2，4-三羧酸。
产品应用 本品主要应用于钨化学机械抛光。
产品特性 在硝酸铁作为氧化剂的基础上，用硅灌胶代替氧化铝作为研磨剂，通过加入硝酸钾。显著降低了产品的缺陷，提高了生产的合格率。
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