本品高精度复合抛光液工艺简单、易于操作，生产方便，生产效率高，产品质量稳定靠谱。下面专家来科普本品高精度复合抛光液的专业配方知识。
制备方法
取氧化铈，加入水中，室温下搅拌均匀，制成氧化铈悬浮液。向氧化铈悬浮液中加入30%平均粒径为80nm 左右的氧化硅或氧化 铝，进一步搅匀。加入KOH, 将 pH 值调至5～11,制成抛光液初品。向 抛光液初品中加入适量的表面活性剂，制成抛光液。
原料配伍
本品各组分质量份配比范围为：氧化铈249～251、水 4416～4418、纳米氧化硅或氧化铝332～334、表面活性剂适量。
本品加入纳米氧化硅的功能包括但不完全包括：缓冲坚硬的氧化铈颗 粒对表面的划伤，并与氧化铈产生共鸣效应，加快抛光效率，同时改善抛 光液的悬浮性及流变性。
产品应用
本品广泛应用于含硅化合物以及其他各种氧化物或半导体 或导体表面的抛光；用于玻璃制品表面抛光，所述玻璃制品包括计算机玻 璃硬盘、FPD 玻 璃 、CD 或 DVD 母盘玻璃、光学玻璃制品；用于芯片生产的绝缘氧化层的抛光；用于单晶硅的抛光。
产品特性
本品工艺简单、易于操作，方便生产，生产效率高，产品 质量稳定。用于如氧化硅、硅酸盐、单晶硅等含硅化合物以及其他各种氧 化物或半导体表面的抛光、玻璃制品表面抛光、芯片生产的绝缘氧化层的 抛光、单晶硅的抛光，都具有平坦化抛光效率高、不损伤抛光机的特性。
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