高精度抛光液

本品高精度抛光液工艺简单、操作简单，生产效率高，平化抛光效率高、抛光机不易损伤，下面专家来科普本品高精度抛光液的专业配方知识。

制备方法 将氧化铈颗粒分散在水中，制成氧化铈悬浮液。将硅酸盐 加入悬浮液中，制成氧化铈、硅酸盐的混合悬浮液。调整氧化铈、硅酸盐的混合悬浮液的pH 值为8～12。将氧化铈、硅酸盐的混合悬浮液升温至 20～90℃,保温0.1～6h后降温至10～25℃,再调节氧化铈、硅酸盐的 混合悬浮液的pH 值至4～11。

另外，上述生产方法中，可再向氧化铈、硅酸盐的混合悬浮液加入添 加剂。加入添加剂的目的是制成悬浮性能更高的抛光液。

原料配伍 本品各组分质量份配比范围为：氧化铈0.05～2500、水 1167～4933、硅酸盐5～2500、添加剂0.15～15。

所述添加剂为有机磷酸盐表面活性剂或有机胺或醇胺或聚环乙氧烷或 聚丙烯酸或聚氨酯。

产品应用 本品主要应用于含硅化合物以及其他各种氧化物或半导体 或导体表面的抛光；用于玻璃制品表面抛光，所述玻璃制品包括计算机玻 璃硬盘或FPD玻璃或CD或 DVD母盘玻璃或光学玻璃制品；用于芯片生 产的绝缘氧化层的抛光；用于单晶硅的抛光。

产品特性  本品工艺简单、易于操作，方便生产，生产效率高，产品 质量稳定；用于如氧化硅、硅酸盐、单晶硅等含硅化合物以及其他各种氧化物或半导体表面的抛光、玻璃制品表面抛光、芯片生产的绝缘氧化层的抛光、单晶硅的抛光，都具有平化抛光效率高、不损伤抛光机的特性。

本文转载自《抛光剂——配方与生产》编著    李东光

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