本品蓝宝石衬底抛光液，对于蓝宝石衬底材料表面的高精密加工起到很大的作用，且在抛光过程低粗糙、高速率、不污染环境，下面专家来科普本品抛光液的专业配方知识。
制备方法 对乙二醇有机溶剂边搅拌边加入金刚石多晶体。并进行充分据匀。
原料配伍 本品各组分质量份配比范围为；乙二醇160~190、多晶微粉1~3。
所述多晶微粉为金刚石多晶体，粒径为3~9um，本工艺所说的抛光是减薄之后的抛光，抛光的作用如下，①去除粗磨之后的划痕，减少晶圆的内应力，使得裂片时不会造成乱裂，提高合格率；②将晶圆背面抛光也是激光划片和裂片工艺的必要条件，因为背面抛成镜面之后，划片机才可以用CCD进行对点，完成划片工作。使用本品的抛光液对蓝宝石衬底继续进行加工，首先是粗抛，在温度为20℃士2℃的条件下，利用粗抛机和抛光液对蓝宝石衬底进行抛光，使其粗糙度达到0.1μm左右，厚度的均匀性在1.0pm以内：接着，进行精抛，温度为20℃±2℃的条件下，利用精抛机和纳米抛光液对蓝宝石村底进行抛光，使蓝宝石村底的表面粗糙度达到20nm以下、镜面效果、无应力。
产品应用 本品主要应用于蓝宝石村底抛光。
产品特性 在相应的抛光工艺条件下进行抛光，可实现蓝宝石衬底材
料表面的高精密加工，并能满足工业上对蓝宝石衬底片CMP精密加工的要求。本品具有成本低、低粗糙、高速率、不污染环境及腐蚀设备的优点。
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