蓝宝石衬底加工专用抛光液

本品蓝宝石衬底加工专用抛光液，不仅可以消除应力，还可以提高表面光洁度高，且达到镜面抛光效果，损耗低，能延长产品的寿命。下面专家来科普本品抛光液的专业配方知识。

制备方法 将各组分溶于水混合均匀即可。

原料配伍 本品各组分质量份配比范围为，纳米硅粉20~25，乙二 醇8~15、甘油3-5、乙醇胺0.1~0.3，去离子水60~65。产品应用 本品为蓝宝石村底的加工专用抛光液。蓝宝石村底的加工

步骤如下

1)品圆片粘片，根据蓝宝石村底的特点，利用粘片设备将其长有器件的一面粘贴在玻璃片上，以便于研磨时真空吸附在磨头上，保证芯片粘 接的稳定性。

(2)粗磨，在压力为1.5~4.5kg， 温度为22℃±2℃的条件下，利用粗磨机将蓝宝石村底的厚度由330~450mm减薄至120mm左右、粗糙度为 2.0μm 左右。

(3)细磨，在压力为1.5~4.5kg， 温度为22℃±2℃的条件下，利用细磨机将蓝宝石衬底由120μm 的厚度减薄至90～95mm 左右、粗糙度为 0.5μm 左右，厚度均匀性在2.0pm以内。

(4)粗抛：在压力为14~44N， 温度为22℃±2℃的条件下。利用粗抛机和纳米抛光液对蓝宝石村底进行抛光，使其粗糙度达到0.1 μm 左右， 厚度的均匀性在1.0μm以内。

(5)精抛，在压力为14~44N，温度为22℃±2℃的条件下，利用精抛机和纳米抛光液对蓝宝石衬底进行抛光，使蓝宝石村庭的表面粗 检度达到20nm以下、高光洁度(镜面效果)、无应力(无翘曲、无变形)。

所述纳米抛光液的pH 值控制在9~11之间，应该注意的是，纳米抛光液配置完毕后必须经过严格的过滤处理 。           

 产品特性 

上述加工步骤和纳米抛光液配合使用时，可以大大提高蓝宝石衬底的表面光洁度、降低其表面粗糙度，消除应力，达到镜面抛光 效果，从而降低刀具损耗，提高刀具的使用寿命，节约生产成本和提高产品的合格率。另外，纳米抛光液与普通的微米级抛光液相比，还可大大缩短抛光周期，从而又达到提高劳动生产率的目的。

本文转载自《抛光剂——配方与生产》编著    李东光

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