铌酸锂晶体抛光液

本品铌酸锂晶体抛光液，对LN晶体的损伤小，清洗简单，抛光效率高，下面专家来科普本品抛光液的专业配方知识。

制备方法  将粒径40~70nm的硅溶胶用去离子水稀释。在搅拌的条件下，向其中加入醚醇类表面活性剂。在搅拌的条件下，向其中加入氧化剂，再向其中加入pH调节剂，搅拌均匀即可使用。

原料配伍  本品各组分质量份配比范围为：硅溶胶570~630、pH调节剂0.1~0.3、醚醇类表面活性剂0.5~2、氧化剂1.5~3、分散剂1~2.水1400~3400。

所述pH调节剂为KOH溶液和有机胺碱的混合液，KOH和有机碱酸的比例为(1~5):1。所述有机胺碱包括以下物质中的一种或多种：乙二胺，三乙胺、四乙基氢氧化胺。

所述的醚醇类活性剂是非离子活性剂，如脂肪醇聚氧乙烯醚(0~10)。壬基船聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、阴离子聚丙烯酸盐中的一种

所述氧化剂为二氯异氰尿酸钠，其分子式为C3C₁₂N3O3Na；所述二氯异氰尿酸钠也被称为优氯净。

所述分散剂包括以下物质中的一种或多种：聚乙二醇、聚乙烯醇、聚丙烯酸盐。

产品应用  本品主要应用于铌酸锂晶体的超精密加工。

产品特性  选用复合碱，如KOH和有机胺碱，KOH能够增强抛光液的化学作用，发生的反应方程式为：KOH+LiNbO₃—→LiOH+KNbO₃有机胺碱作为抛光液pH调节剂，能够很好地保持溶液的pH值稳定，确保化学作用的一致稳定，从而实现抛光速率的稳定，同时还能起到络合剂的作用，有助于抛光产物从晶体表面脱离，提高了抛光效率。

选用表面活性剂，增强了高低选择比，大大降低了表面张力，减少了损伤层，提高了质量传输速率，增强运输过程，成为高平整高光洁表面。

本品为碱性抛光液，具有对抛光设备无腐蚀，对环境无污染，稳定性好的特点。

选用纳米SiO₂溶胶作为抛光液磨料，其粒径小(40～70nm)，硬度低(对LN晶体低损伤)，分散性好(易清洗)，提高了抛光表面的一致性，能够达到高速率高平整低损伤抛光、污染小，解决了目前金刚石磨料硬度大易划伤、易沉淀等诸多弊端。

本文转载自《抛光剂——配方与生产》编著    李东光

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