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用于介质材料平坦化的抛光液

2024-12-18 11:05:07        作者:    浏览:

本品是用于介质材料平坦化的抛光液,水分不易蒸发,液体不易干燥结块,保证了社保湿润的要求,且抛光过程效率高,下面专家来科普本品抛光液的配方知识。

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制备方法  将各组分在去离子水中混合均匀,用氢氧化钾或稀硝酸调 到所需pH 值,即制得抛光液。

原料配伍  本品各组分质量份配比范围为:磨料5~40、抛光促进剂 0.1~2、表面活性剂(50~1000)×10-⁶、多元脂肪醇0.1~10、去离子水 加至100。

所述的磨料为二氧化硅。所述的二氧化硅选自二氧化硅溶胶颗粒、气 相法二氧化硅和/或改性的二氧化硅粒子中的一种或多种。所述的磨料的 粒径为20~250nm,  优选为60~200nm。

所述的抛光促进剂为电解质。所述的电解质选自强酸强碱盐、强酸弱 碱盐、弱酸弱碱盐和/或弱酸强碱盐中的一种或多种。

所述的表面活性剂为非离子表面活性剂和/或阳离子表面活性剂。 所述的非离子表面活性剂为聚乙二醇和/或聚氧乙烯醚。所述的非离子 表面活性剂为0.01~1份。所述的阳离子表面活性剂为季铵盐型表面活 性剂和/或单烷基三甲基氯化铵。所述的阳离子表面活性剂的含量为 (50~1000)×10-6。

所述的多元脂肪醇选自丙三醇、丁二醇、乙二醇、二乙二醇、丙二 醇、己二醇、木糖醇和/或山梨糖醇中的一种或多种。

本品的抛光液中含有pH调节剂。所述的调节剂为氢氧化钾和/或稀硝酸。所述的抛光液,pH值为9~12,优选为10~11 .5。

产品应用   本品主要应用于介质材料平坦化的抛光。

产品特性  本品能减缓水分蒸发,保持浆液在器壁的液体状态,减缓 干燥结块的速度,降低对设备保湿方面的要求。

       本文转载自《抛光剂——配方与生产》编著    李东光

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