本品可广泛应用于铝、铜、钽、氮化钽、钛、氮化钛、银或金等金属的抛光。
原料配比(质量份)
[制备方法]
将各组分溶于水混合均匀即可。
[原料配伍]
本品各组分质量份配比范围为:研磨颗粒1~10、金属腐蚀抑制剂0.01 ~ 10、成膜剂0~ 0.2、氧化剂0~ 10、络合剂0.01 ~10、pH值调节剂0.5~ 10、丙三醇5~10、表面活性剂0.001~10、水加至100。
所述研磨颗粒可为现有技术中任何研磨颗粒，较佳地为二氧化硅、氧化铝、二氧化铈、二氧化钛和/或高分子聚合物研磨颗粒。
所述金属腐蚀抑制剂较佳地为无机酸盐，该无机酸盐可为氧化性和/或非氧化性的无机酸盐，该无机酸盐优选钼酸盐、铬酸盐、高锰酸盐、硅酸盐、钨酸盐和/或杂多酸盐，更优选钼酸盐，所述的钼酸盐较佳为钼酸铵。
所述的金属腐蚀抑制剂都可以在金属表面形成一层保护膜。
所述成膜剂为苯并三唑、吡唑和/或咪唑，优选苯并三唑。
所述氧化剂较佳地为过氧化氢、硝酸铁、有机过氧化物和/或无机过氧化物。
所述络合剂较佳地为含羟基、羧基、硫酸基、磺酸基、磷酸基、羟氨基、铵盐和/或氨基的化合物，更佳地为琥珀酸、草酸、柠檬酸、环己二胺四乙酸、二乙三胺五乙酸、乙二胺四乙酸和/或单宁酸。
所述pH值调节剂较佳地为氢氧化钾、氢氧化氨、硫酸或硝酸。
所述表面活性剂优选阳离子、阴离子、非离子表面活性剂和/或高分子表面活性剂，更优选脂肪醇聚氧乙烯醚、聚乙烯醇、聚氧乙烯烷基胺和/或烷基醇酰胺。
[产品应用]
本品可广泛应用于铝、铜、钽、氮化钽、钛、氮化钛、银或金等金属的抛光。
[产品特性]
本品的化学机械抛光液可以抑制金属的点蚀和腐蚀，降低金属除去速率，改善金属表面质量。
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