本品主要用作化学机械抛光液。
原料配比(质量份)
[制备方法]
将各组 分在去离子水中混合均匀，用氢氧化钾或稀硝酸调到所需的pH值，即可制得化学机械抛光液。
[原料配伍]
本品各组分质量份配比范围为:研磨剂0.2~5、氧化剂0.1~5、稳定剂0~0.18、 聚环氧琥珀酸(PESA) 和/或聚环氧琥珀酸的盐0.05~0.5、去离子水加至100。
所述研磨剂为硅溶胶、气相二氧化硅、氧化铝、氧化铈中的一种或多种。
所述氧化剂为硝酸铁、过氧化物和/或硝酸铁和过氧化物的组合物。
所述过氧化物为双氧水或单过硫酸氢钾复合物。
所述聚环氧琥珀酸(PESA)和/ 或聚环氧琥珀酸的盐的相对分子质量为400~ 1500。
所述抛光液的pH值为1.5~5。
[产品应用]
本品主要用作化学机械抛光液。
[产品特性]
在化学机械抛光液中加入了聚环氧琥珀酸( PESA)和/或聚环氧琥珀酸的盐，提升了抛光液产品在多方面的表现性能。
本文转载自《金属表面处理剂配方手册》主编 李东光
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