现代材料的微观仪器分析依测试目的和原理不同而可以分以下几个类别。
(1)电子显微镜类
现代材料分析的仪器,以表面形貌分析技术为例,经历了光学显微镜(OM,参见图12-1)、电子显微镜(SEM,参见图12-2)、扫描探针显微镜(SPM,参见图12-3)的发展过程,现在已经可以直接观测到原子的图像。这三种显微观测设备的性能比较见表12-1。
(2)衍射分析类
利用衍射分析的方法探测晶格类型和晶胞常数,确定物质的相结构,则要用到X射线衍射仪(XRD,参见图12-4)、电子衍射仪(ED,参见图12-5)及中子衍射仪(ND)。这类仪器的共同的原理是:利用电磁波或运动电子束、中子束等与材料内部规则排列的原子作用产生相干散射,获得材料内部原子排列的信息,从而重组出物质的结构。
(3)光电子能谱类
材料的成分和价键分析手段都是基于同一个原理,即核外电子的能级分布反映了原子的特征信息。利用不同的入射波激发核外电子,使之发生层间跃迁,在此过程中产生元素的特征信息。按照出射信号的不同,成分分析手段可以分为两类:X光谱和电子能谱,出射信号分别是X射线和电子。
X光谱包括X射线荧光光谱(XFS)和电子探针X射线显微分析(EPMA,参见图12-6)两种技术。
电子能谱包括X射线光电子能谱(XPS,参见图12-7)、俄歇电子能谱(AES)、电子能量损失谱(EELS)等分析手段。
(4)电磁波与红外光谱类
利用电磁波与分子键和原子核的作用,获得分子结构信息。红外光谱(IR)、拉曼光谱(Raman)、荧光光谱(PL)等是利用电磁波与分子键作用时的吸收或发射效应,而核磁共振(NMR)则是利用原子核与电磁波的作用来获得分子结构信息的。
本文转载自《电镀添加剂技术问答》编著 刘仁志
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